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国家高技术研究发展计划(2008AA031403)
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刘明
龙世兵
王琴
王永
杨潇楠
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研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所
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