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国家自然科学基金(60676008)

作品数:13 被引量:15H指数:2
相关作者:刘明陈军宁朱效立涂德钰商立伟更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所安徽大学中国科学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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安徽大学
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中国科学院
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安徽大学电子信息工程学院
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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中国科学院化学研究所
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中国科学院光电技术研究所
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