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国家自然科学基金(61077034)

作品数：3 被引量：10H指数：2
相关作者：张海涛巩马理陈倚竹闫平赵钦更多>>
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清华大学机械工程学院
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清华大学
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清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：故障诊断 微机电系统 MEMS 传感器 有限元
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清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题：润滑 摩擦学 化学机械抛光 表面形貌 薄膜润滑
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