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河北省自然科学基金(E2010000077)

作品数：3 被引量：9H指数：1
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领域

  • 6个电子电信
  • 4个化学工程
  • 4个金属学及工艺
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主题

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  • 6个抛光液
  • 6个平坦化
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  • 6个互连
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  • 4个单晶
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  • 4个单因素实验
  • 4个低K介质
  • 2个单晶片
  • 2个低K材料

机构

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作者

  • 6个刘效岩
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  • 4个蔡婷
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  • 4个高宝红
  • 4个马迎姿
  • 4个邢少川
  • 3个刘恩海
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  • 2个智兆华

传媒

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  • 6个微纳电子技术
  • 5个功能材料
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  • 2个分析化学
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  • 2个生态学报
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  • 2个生物技术通讯
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国家中长期科技发展规划重大专项
相关领域：航空宇航科学技术 电子电信 自动化与计算机技术 金属学及工艺 理学
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国家中长期科技发展规划重大专项(2009ZX02308)
相关领域：电子电信 金属学及工艺 理学 一般工业技术 化学工程
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国家科技重大专项(2009ZX02308)
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术
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天津市自然科学基金
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 电子电信 化学工程
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天津市自然科学基金(10JCZDJC15500)
相关领域：电子电信
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国家科技重大专项
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
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