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国家自然科学基金(51375400)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射效率
  • 1篇微机电系统
  • 1篇可调
  • 1篇机电系统
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇虞益挺
  • 1篇李晓莹
  • 1篇吴焱

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟被引量：2
2016年
基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0-10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
李晓莹吴焱虞益挺刁金帅闫治晚
关键词：微机电系统衍射效率
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