国家自然科学基金(90207013)
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 阵列式微机械悬臂梁的研制及其特性分析被引量：4
- 2003年
- 在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁 .采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析 ,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究 .选用多晶硅为压阻材料 ,以硅微机械加工技术为基础 ,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备 .通过测量器件的噪声和灵敏度 ,计算出在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽下 ,多晶硅悬臂梁的最小可探测位移为 1nm .
- 于晓梅张大成李婷王小宝阮勇杜先锋
- 关键词：悬臂梁噪声灵敏度
- U形阵列式微机械悬臂梁的研究被引量：8
- 2004年
- 为提高悬臂梁的分辨率 ,实现悬臂梁的多功能性 ,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁 .从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析 ,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 .选用多晶硅为力敏材料 ,基于硅微机械加工技术 ,制备U形阵列式悬臂梁 .测量悬臂梁的噪声及灵敏度 ,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数 ,分别为 3× 10 - 3和 2 7.在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽条件下 ,计算悬臂梁的最小可探测位移为 0 5nm .同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨 .
- 于晓梅张大成王丛舜李婷阮勇
- 关键词：悬臂梁分辨率灵敏度噪声力敏电阻
- CMOS电路与大量程流量计的单片集成
- 2005年
- 在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.
- 赵涛张大成王小保
- 关键词：流量计集成化
- MEMS与SOI CMOS单片集成的模拟研究
- 基于MEMS技术和SOI CMOS技术提出了一个包含放大电路与悬臂梁式压阻传感器的集成化方案。分析了半耗尽SOI CMOS和全耗尽SOI CMOS的器件性能,设计了特征尺寸为3μm的半耗尽SOI CMOS模拟放大电路和悬...
- 张海涛于晓梅王小保张大成
- 关键词：SOI悬臂梁集成化
- 文献传递
- MEMS与SOI CMOS单片集成的模拟研究
- 2005年
- 基于MEMS技术和SOI CMOS技术提出了一个包含放大电路与悬臂梁式压阻传感器的集成化方案.分析了半耗尽SOI CMOS和全耗尽SOI CMOS的器件性能,设计了特征尺寸为3μm的半耗尽SOI CMOS模拟放大电路和悬臂梁式压阻传感器的单片集成工艺.通过对器件、电路和工艺的模拟与仿真,证明了本集成化方案的可行性.
- 张海涛于晓梅王小保张大成
- 关键词：SOI悬臂梁集成化
- CMOS电路与大量程流量计的单片集成
- 在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上。测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作。
- 赵涛张大成王小保
- 关键词：流量计集成化
- 文献传递
