国家科技重大专项(2008ZX02501-009)
- 作品数：4 被引量：22H指数：3
- 相关作者：李艳秋刘克杨光华吴少雄张恨更多>>
- 相关机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部长江学者奖励计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 相移点衍射干涉仪的关键技术研究被引量：3
- 2010年
- 相移点衍射干涉仪(PS/PDI)是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础上,重点阐述在干涉仪优化设计、高精度对准、系统误差标定以及干涉图像处理等PS/PDI关键技术研究方面取得的成果。以关键技术研究为基础,开发了一套可见光波段的PS/PDI原理实验装置,并利用该装置检测了极紫外光刻中典型的Schwarzschild投影物镜的波像差,自主开发的20倍缩小Schwarzschild物镜的数值孔径达到了0.2。实验结果表明,干涉仪的重复对准精度优于0.1μm,波像差的绝对检测精度均方根(RMS)误差达到了0.025λ(λ为检查光波长),重复检测精度RMS优于0.001λ,检测速度达到了20秒/视场点。
- 李艳秋刘克
- 关键词：光学测量光刻移相干涉术点衍射干涉仪
- 一种新的基于线性载波延拓的相位展开方法被引量：2
- 2010年
- 提出了一种利用线性载波对不连续相位图进行延拓后相位展开的方法。首先,通过傅里叶变换法确定载波频率;然后,用最小二乘法确定与相位图相匹配的线性载波对背景、遮拦区域进行延拓;最后,采用经典的相位展开算法对延拓后的相位图进行展开。实验结果表明,对于包含较大线性载波的不连续干涉图,延拓后相位展开结果避免了各区域间的全局误差;计算机模拟结果表明,对于包含较小线性载波或不含载波的不连续干涉图,经过线性载波调制后,使用该方法得到相位展开结果与真实波面均方根差仅为0.0021 rad,不存在全局误差。
- 张恨李艳秋刘克吴少雄
- 关键词：光学测量相位展开延拓
- 22nm极紫外光刻物镜热和结构变形及其对成像性能影响被引量：11
- 2012年
- 极紫外光刻技术(EUVL)是半导体制造实现22nm及其以下节点的下一代光刻技术。在曝光过程中,EUVL物镜的每一面反射镜吸收35%～40%的入射极紫外(EUV)能量,使反射镜发生热和结构变形,影响投影物镜系统的成像性能。基于数值孔径为0.3,满足22nm技术节点的产业化EUV投影物镜,采用有限元分析(FEA)的方法研究反射镜变形分布,再将变形导入光学设计软件CODE V中,研究反射镜变形其对成像特性的影响。研究结果表明:当达到硅片的EUV能量为321mW,产量为每小时100片时,反射镜最高升温9.77℃,通光孔径内的最大变形为5.89nm;若采用相干因子0.5的部分相干光照明,变形对22nm线宽产生6.956nm的畸变和3.414%的线宽误差。
- 杨光华李艳秋
- 关键词：有限元方法极紫外光刻投影物镜
- 相移点衍射干涉仪的高精度对准被引量：6
- 2010年
- 相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的绝对测量精度和重复精度都直接受干涉仪装调误差的影响,因此采用具有高灵敏度的计算机辅助装调技术进行干涉仪的高精度对准是必要的。在PS/PDI空间频域特性分析的基础上,开发了一套高灵敏度的计算机辅助装调方法来实现干涉仪的对准。在粗装调阶段,对光电传感器采集的光场分布进行离散傅里叶变换,利用频谱图中的信息调整PS/PDI;在精密装调阶段,采用干涉条纹的频域对比度作为评价函数,以得到对比度的最大值为目标微调干涉仪。装调实验结果表明,对于可见光波段PS/PDI中直径为1.5μm的针孔,可以达到优于0.1μm的重复对准精度。
- 刘克李艳秋
- 关键词：光学测量光刻移相干涉术点衍射干涉仪计算机辅助装调
