2024年8月24日
星期六
|
欢迎来到南京江宁区图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
国家自然科学基金(50277003)
作品数:
4
被引量:11
H指数:2
相关作者:
齐雪莲
任春生
马腾才
张健
王友年
更多>>
相关机构:
大连理工大学
更多>>
发文基金:
国家自然科学基金
更多>>
相关领域:
理学
一般工业技术
更多>>
相关作品
相关人物
相关机构
相关资助
相关领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
4篇
中文期刊文章
领域
2篇
一般工业技术
2篇
理学
主题
3篇
非平衡磁控溅...
3篇
磁控
3篇
磁控溅射
2篇
等离子体
2篇
CU膜
1篇
等离子体参数
1篇
射频
1篇
光谱
1篇
和光
1篇
发射光谱
1篇
感应耦合
1篇
感应耦合等离...
1篇
高密度等离子...
1篇
LANGMU...
机构
4篇
大连理工大学
作者
4篇
任春生
4篇
齐雪莲
3篇
马腾才
2篇
张健
1篇
麻冰欣
1篇
王友年
1篇
刘峰
传媒
2篇
核聚变与等离...
1篇
真空
1篇
大连理工大学...
年份
2篇
2007
2篇
2006
共
4
条 记 录,以下是 1-4
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
高密度等离子体增强非平衡磁控溅射沉积Cu膜研究
被引量:2
2006年
采用直流非平衡磁控溅射射频等离子体增强电高法在Si衬底上沉积了Cu膜,用扫描电镜(SEM)研究了沉积Cu膜的表面形貌并测得薄膜的厚度,用X射线衍射(XRD)研究了沉积Cu膜的结构,用电子能谱等对Cu膜进行了成分分析.实验结果表明,在该条件下沉积的Cu膜致密,晶粒尺度在100~1000nm,膜基界面比较紧密,没有明显的空洞,并且Cu膜呈(111)织构.通过实验,找到沉积Cu膜的最佳实验参数,并希望这一工艺能应用在集成电路中.
齐雪莲
任春生
马腾才
刘峰
关键词:
非平衡磁控溅射
CU膜
射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断
被引量:5
2007年
用Langmuir探针对射频(13.56Mnz)感应等离子体进行了诊断,给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750.3nm谱线强度随气压在轴向的变化,其变化趋势与Langmuir探针测量结果的变化趋势相一致。测量了氩离子的434.8nm谱线强度随气压在轴向的变化并获得了氩离子的434.8nm谱线强度与氩原子的430.0nm谱线强度的比值在轴向三个不同位置的变化。从测得的结果可知:在放电室中上部形成了均匀稳定的高密度等离子体,在靶附近有所降低,在中部以下等离子体密度逐渐变低;在径向6-7cm以内的区域等离子体参数变化不大,形成了均匀稳定的等离子体,等离子体参数在器壁处变化明显。
张健
任春生
齐雪莲
王友年
关键词:
LANGMUIR探针
发射光谱
感应耦合等离子体
等离子体参数
射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术
被引量:2
2006年
介绍了射频电感耦合等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术的原理、实验性能。并用该技术在Si基片上沉积了Cu膜,研究了所成膜的结构、表面形貌及膜成分等,分析结果表明在该条件下沉积的Cu膜致密,晶粒尺度大约在100~1000nm,膜基界面比较紧密,没有明显的空洞,并且膜呈(111)织构。最后简要介绍了该技术应用的前景。
齐雪莲
任春生
马腾才
关键词:
非平衡磁控溅射
射频对非平衡磁控溅射沉积Cu膜的影响
被引量:2
2007年
用射频等离子体增强非平衡磁控溅射在Si100基底上沉积了金属Cu膜。研究了偏压,射频功率和磁场等沉积参数对膜性能的影响。用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和电子能谱(EM)检测了膜的表面形貌,结构和成分。结果表明,射频放电有利于表面均匀光滑、电导率高的Cu沉积膜的形成;沉积参数对沉积膜的性能有重要的影响。
齐雪莲
任春生
张健
麻冰欣
马腾才
关键词:
射频
非平衡磁控溅射
CU膜
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张