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国家技术创新计划(60278028)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：袁勇阎桂珍郝一龙靳世久孙卫更多>>
相关机构：北京大学天津大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家技术创新计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇致动器
  • 1篇通信
  • 1篇光开关
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤通信

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇栗大超
  • 1篇吴文刚
  • 1篇孙卫
  • 1篇靳世久
  • 1篇郝一龙
  • 1篇阎桂珍
  • 1篇袁勇

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
扭转微镜光学致动器研究被引量：3
2003年
应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术研制了新型扭转微镜光学致动器 ,实现了致动器结构与具有光纤自固定、自对准功能的新型光纤定位保持结构的单片集成。新型扭转微镜光学致动器的机电和光学特性研究表明 ,其工作寿命超过 10 8次动作 ,最小动作时间估计可低于2ms ,存在驱动微镜自然地翻转 90°角的静电阈值电压和维持微镜处于已翻转 90°角状态的静电最低保持电压 ;其微镜的表面粗糙度及其分布基本满足光的波分复用技术等的应用要求。新型扭转微镜光学致动器可在光纤网络中作为光开关或可变光衰减器使用。设计、制作及研究了由新型扭转微镜光学致动器组成的 2×
吴文刚栗大超袁勇孙卫阎桂珍郝一龙靳世久
关键词：致动器光开关光纤通信
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