上海市科委科技攻关项目(11511500900)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：李昕欣俞锋于海涛王家畴刘洁丹更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院研究生院上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委科技攻关项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造被引量：5
- 2012年
- 给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案。相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳力,从而降低其振动能量损失,使得其接入锁相环接口电路后的闭环品质因数达到了249。电热驱动和压阻检测方式便于工艺集成和快速检测。本文给出了基于SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)的悬臂梁制作方案,并分别在空气和水中对悬臂梁的谐振特性进行了测试。
- 俞锋李昕欣于海涛
- 关键词：品质因数电热驱动
- 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
- 2012年
- 介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体。同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放。该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容。文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果。
- 王家畴刘洁丹李昕欣
- 关键词：MEMS
