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国家重点实验室开放基金(514850202JW2001)
作品数:
2
被引量:10
H指数:1
相关作者:
张流强
温志渝
梁玉前
刘妤
刘玉奎
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相关机构:
重庆工学院
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微加速度传感器的研究现状及发展趋势
被引量:10
2004年
基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.
刘妤
温志渝
张流强
刘玉奎
梁玉前
关键词:
微加速度传感器
MEMS
MEMS微加速度传感器的系统级仿真
概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、实现关键及各自的优缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真。
刘妤
温志渝
张流强
梁玉前
关键词:
微加速度传感器
系统级仿真
宏模型
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MEMS微加速度传感器的系统级仿真
2005年
概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
刘妤
温志渝
张流强
梁玉前
关键词:
MEMS
CAD
微加速度传感器
系统级仿真
宏模型
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