国家重点基础研究发展计划(G1999033102)
- 作品数：12 被引量：78H指数：6
- 相关作者：宋青林夏善红吴一辉陈绍凤宣明更多>>
- 相关机构：中国科学院电子学研究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金中国科学院院长特别基金更多>>
- 相关领域：电气工程机械工程理学动力工程及工程热物理更多>>
- 薄膜热导率测量结构的研究
- 提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十...
- 宋青林夏善红陈绍凤吕耀
- 关键词：热导率
- 文献传递
- 一种新的压电驱动器非线性数学模型被引量：10
- 2002年
- 为提高压电驱动器的响应速度和定位精度 ,必须建立能够精确描述其非线性行为的数学模型。在实验的基础上 ,提出了一种新的描述压电驱动器内外环非线性曲线关系的数学模型。实际测量表明 ,通过应用此模型 ,在压电驱动器全程伸长范围内对其非线性曲线的相对拟合误差小于 2 %。推导了数学模型的几点性质 ,这些性质对描述压电驱动器在小激励信号下的行为有一定帮助。
- 贾宏光吴一辉宣明王立鼎
- 关键词：压电驱动器非线性数学模型
- 薄膜热导率测量结构的研究被引量：5
- 2004年
- 提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系统误差。实验中对0.5μm到2μm的一系列氮化硅薄膜进行了测量,得到了薄膜热导率的尺寸效应。
- 宋青林夏善红陈绍凤吕耀
- 关键词：热导率
- 压力传感器灵敏度电压非线性分析被引量：7
- 2004年
- 实验发现压阻型压力传感器的压力输出信号与外加电压并不是线性关系,存在着灵敏度电压非线性。本文指出组成压阻型压力传感器电桥的电阻受温度、输入电压、压力的共同影响,在此基础上提出非线性扩散电阻的多维模型。依据此理论模型,对灵敏度电压非线性现象的成因进行了理论分析,并利用其中受电压控制的电压源及其扩展功能来模拟非线性扩散电阻在电路的等价作用,进而显示出压力传感器灵敏度电压非线性的成因。
- 宋青林孙以材多旭亮
- 关键词：压力传感器
- 双转子平面微电机定子制作工艺研究被引量：6
- 2003年
- 为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机。定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反面相对应的线圈由穿过基底的引线相连。采用以准LIGA技术为基础的制作方法。在双面线圈定子制作工艺中,通过设计适当的工艺步骤,并控制甩胶、前烘与曝光条件,在已腐蚀出引线通孔的衬底上完成双面光刻并电铸孔引线的工艺过程。定子直径为23mm,孔引线边长500μm,深约400μm,线圈线宽100μm,高度35μm。装配后的电机测试结果表明电机运行平稳,力矩波动小。
- 梁静秋郭占社吴一辉王淑荣张平宣明
- 关键词：双转子定子
- 一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作被引量：2
- 2003年
- 目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应。本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应 ,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法 ,其相应的实验器件为一悬膜结构。从理论上阐述了其测量原理 ,结合ANSYS热学模拟设计并利用微机械加工技术制作出SiO2 悬膜结构 ,悬膜由两个悬臂支撑 ,在悬膜上制作了Pt薄膜电阻同时用于加热和测温。这种结构加快了样品、悬膜和加热 /测温电阻之间的热传递 ,减小了悬膜的热损失 ,提高了测量精度。
- 宋青林崔铮夏善红陈绍凤
- 关键词：比热尺寸效应
- 激光激发兰姆波(英文)被引量：1
- 2001年
- 用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法。本文从光－热－声波转换的基本原理出发，推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法，给出了具体的实验设置、初步实验结果和数据分析。
- 吴一辉贾宏光鞠挥
- 关键词：激光兰姆波传感器硅薄膜微传感器
- 微尺度薄膜热导率测试技术被引量：16
- 2002年
- 随着器件尺寸进入到微 /纳米尺度 ,其热物性与体材料相比有了很大差别。在器件热性能和可靠性研究过程中 ,对热导率的测量成为了关键技术之一。本文概述了SiO2 、SiNx、金刚石等薄膜在微小型器件中的用途及其热导率测试技术的发展 。
- 宋青林夏善红陈绍凤张建刚
- 关键词：微尺度测试技术热导率
- 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试被引量：1
- 2002年
- 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。
- 陈绍凤夏善红
- 关键词：真空微电子压力传感器计算机模拟
- 电磁型平面微电机及其制作工艺被引量：24
- 2003年
- 为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布。装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热。把装配完毕的微电机接通三相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大。
- 郭占社吴一辉宣明王淑荣
