刘延祥
作品数: 43被引量:22H指数:4
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

李铁
作品数:358被引量:139H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
王跃林
作品数:721被引量:798H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
周宏
作品数:28被引量:5H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
王翊
作品数:53被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
夏冠群
作品数:140被引量:241H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:砷化镓 GAAS MESFET 离子注入 红外探测器
棕红色颜料的制备及呈色机理研究被引量:4
2003年
本文以ZnO、Cr2O3、Fe2O3、MnO2为原料合成了棕红色的尖晶石型颜料,并用XRD、DAT等手段对合成产物进行了表征。结果表明:该颜料在1129℃开始合成,其主晶相为锌铁尖晶石(ZnFe2O4)、铬铁尖晶石(FeCr2O4),且在1260~1300℃下,该颜料具有良好的稳定性;分析了颜料的发色机理及矿化剂在颜料制备中的作用。
刘延祥李玉书刘星
关键词:呈色机理陶瓷颜料
棕红色颜料的制备及形成机理的研究被引量:6
2003年
以ZnO、Cr2O3、Fe2O3、MnO2为原料合成了棕红色的尖晶石型颜料,并用XRD、DAT等手段对合成产物进行了表征。结果表明,该颜料在1129℃开始合成,其主晶相为锌铁尖晶石(ZnFe2O4)、铬铁尖晶石(FeCr2O4);且在1260℃~1300℃下,该颜料具有良好的稳定性。笔者还分析了颜料的发色机理及矿化剂在颜料制备中的作用。
刘延祥李玉书刘星李英
关键词:颜料尖晶石
CH<,3>CSNH<,2>/NH<,4>OH钝化GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器的研究
本文引入一种新的低毒化合物CH<,3>CSNH<,2>/NH<,4>OH对GaInAsSb化合物探测器的表面进行了表面钝化处理,可使其暗电流降低一个数量级,动态电阻增大25倍多;且钝化83天后保持良好的钝化效果,取得了与...
刘延祥夏冠群唐绍裘程宗权郑燕兰
关键词:GAINASSB红外探测器
文献传递
基于粗糙介质薄膜的高性能MEMS红外光源研究
2024年
目前,工业领域对于气体监测的需求日益增长,在各种气体传感器中,红外传感器由于其高精度、高选择性的优势得到了广泛开发应用。红外光源是红外传感器中的关键元件,其发射率决定了传感器的性能,传统的发射率提高方法主要为制作表面微结构和添加高吸收率材料等。然而,这些方法会导致成本增加、制造复杂度提高。我们提出了一种新型MEMS红外光源,使用粗糙介质薄膜增强红外吸收并降低热传导来提高发射率。粗糙介质薄膜结构通过简单的硬模工艺制作,该方法成本低并与传统的红外光源制造兼容,制造的红外光源在2-20μm内可以达到99%以上的发射率。该红外光源的辐射区面积为1.4 mm×1.5 mm,在425℃的工作温度下功率密度为118 mW/mm^(2),且在15 Hz的工作频率下有全调制深度。这些结果表明,这种红外光源在红外气体传感器中的应用具有巨大潜力。
郭星辰王翊周宏刘延祥陆仲明李铁
关键词:微机电系统红外光源红外气体传感器
GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器及工艺的研究
Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料GaSb及其四元化合物半导体GaInAsSb材料均为具有闪锌矿结构的直接带隙半导体材料,因此在制造发光二极管、激光二极管和光电探测器方面具有较大的应用潜力,故而引起了人们关注。GaInAsSb材料...
刘延祥
关键词:红外探测器欧姆接触增透膜半导体材料
文献传递
GaInAsSb/GaSb红外探测器抗反膜的研究被引量:2
2005年
简单介绍了单层抗反膜的增透原理,并以Si片作为基片采用磁控溅射的方法制备了A l2O3、SiO2和ZrO2三种抗反膜。膜层的反射率测试结果表明:生长ZrO2膜后表面反射率下降可达30%;同时通过对GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器蒸镀抗反膜前后的器件的I-V特性及黑体探测率的测试表明:蒸镀ZrO2膜后GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器的黑体探测率平均提高了60.28%,远大于蒸镀A l2O3、SiO2后的48.91%和40.04%,说明ZrO2膜是一种较理想的单层抗反膜,使器件性能有所提高。
刘延祥夏冠群唐绍裘李志怀程宗权
关键词:GAINASSB/GASB
一种三维红外光源的制作方法
本发明提供一种三维红外光源及其制作方法,提供一硅片;在该硅片的正反面形成氧化硅薄膜;在正面定义阵列窗口并沿阵列窗口刻蚀氧化硅至暴露出硅表面为止;沿阵列窗口刻蚀硅表面形成硅凹槽阵列;去除硅片正面非刻蚀区域的氧化硅并形成复合...
李铁郭联峰刘延祥王翊周宏王跃林
文献传递
微机械推拉式可调谐光栅
本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅,其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器,其中,光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体,再通过光栅支撑梁与推驱动...
李铁明安杰周萍刘延祥周宏王翊王跃林
文献传递
棕色尖晶石颜料的合成被引量:4
2003年
介绍了如下几种色料的制备 :( 1 ) Zn Fe Cr O4;( 2 ) Zn Fe Cr O4中部份 Zn O被 Fe O或 Ni O+ Fe O所置换 ;( 3) Zn Fe Cr O4中部份 Fe2 O3 或部份 Fe2 O3 + Cr2 O3 被 Al2 O3 所置换 .借助热分析和 X-射线衍射分析讨论了色料的合成过程和晶体结构 .最后 ,通过色釉试验 ,参照色度测定数据 ,阐述了颜料的组成和结构对色釉颜色的影响 .表明铁离子出现在尖晶石结构中四面体间隙位和八面体间隙位的能力是极为重要的 .如果 Fe3 + 尽量少地占据四面体间隙位 。
李玉书刘宁亦刘延祥刘星李瑛
一种红外探测器及红外气体传感器
本发明涉及红外探测领域,特别涉及一种红外探测器及红外气体传感器,包括:滤波结构,用于红外光滤波,使至少一个预设波长的红外光通过所述滤波结构;探测芯片,用于将所述至少一个预设波长的红外光转化为电信号;其中,所述滤波结构为超...
李铁刘延祥王翊周宏王跃林
文献传递