-
李铁
-

-

- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王跃林

- 作品数:721被引量:796H指数:14
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
- 王翊

- 作品数:53被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:红外气体传感器 微机械 红外探测器 红外光源 微机械热电堆
- 刘延祥

- 作品数:43被引量:22H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
- 周宏

- 作品数:28被引量:5H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外特征
- 沈鸿烈

- 作品数:255被引量:325H指数:8
- 供职机构:南京航空航天大学
- 研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜