-
汪小军
-

-

- 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 所在地区:陕西省 西安市
- 研究方向:自动化与计算机技术
相关作者
- 吴迪

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
- 利阳

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
- 付鹏

- 作品数:3被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
- 黄鹤

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜
- 折宇

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:高温处理 晶圆片 膜厚监控 膜厚 外延膜