付鹏
作品数: 3被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
  • 所在地区:陕西省 西安市

相关作者

利阳
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
汪小军
作品数:4被引量:0H指数:0
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 高温处理 硅片表面 光刻胶
李宁
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
张思申
作品数:3被引量:0H指数:0
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子注入
孙有民
作品数:15被引量:0H指数:0
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀