-
付鹏
-

-

- 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 所在地区:陕西省 西安市
相关作者
- 利阳

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
- 汪小军

- 作品数:4被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:超薄氧化层 剥落 高温处理 硅片表面 光刻胶
- 李宁

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
- 张思申

- 作品数:3被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子注入
- 孙有民

- 作品数:15被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题:TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀