-
冯鹏
-

-

- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:理学
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王向朝

- 作品数:829被引量:1,376H指数:19
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
- 唐锋

- 作品数:217被引量:106H指数:7
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
- 郭福东

- 作品数:43被引量:32H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
- 卢云君

- 作品数:72被引量:30H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
- 刘洋

- 作品数:250被引量:496H指数:11
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光纤激光器 望远镜 激光器 相干合成 光谱数据