-
郭福东
-
-
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 王向朝
- 作品数：828被引量：1,373H指数：19
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
- 唐锋
- 作品数：217被引量：106H指数：7
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
- 卢云君
- 作品数：72被引量：30H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
- 冯鹏
- 作品数：45被引量：24H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
- 张国先
- 作品数：13被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：波像差 干涉仪 相移器 投影物镜 测量仪
