龙世兵
作品数: 330被引量:119H指数:7
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘明
作品数:1,354被引量:401H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
刘琦
作品数:250被引量:63H指数:4
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电路 电阻 非挥发性
吕杭炳
作品数:253被引量:29H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电阻 选通 微电子
谢常青
作品数:504被引量:256H指数:7
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
陈宝钦
作品数:198被引量:261H指数:9
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束