-
陈宝钦
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 刘明
- 作品数：1,366被引量：408H指数：11
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
- 龙世兵
- 作品数：330被引量：121H指数：7
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
- 谢常青
- 作品数：507被引量：262H指数：8
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
- 牛洁斌
- 作品数：132被引量：75H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
- 赵珉
- 作品数：31被引量：46H指数：4
- 供职机构：湛江师范学院信息科学与技术学院
- 研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
