-
高宝红
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 刘玉岭
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:481被引量:741H指数:13
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 檀柏梅
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:159被引量:321H指数:11
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
- 王辰伟
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:117被引量:163H指数:6
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
- 牛新环
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:124被引量:316H指数:9
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
- 黄妍妍
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:22被引量:5H指数:1
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 外延层 气相 掺硼金刚石膜电极 硅片表面