王辰伟
作品数: 117被引量:163H指数:6
  • 所属机构:河北工业大学
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项

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刘玉岭
作品数:481被引量:741H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
牛新环
作品数:124被引量:316H指数:9
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
高宝红
作品数:70被引量:48H指数:4
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
王胜利
作品数:57被引量:76H指数:5
供职机构:河北工业大学
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高娇娇
作品数:16被引量:47H指数:5
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性