-
谢传钵
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 姚汉民
- 作品数：175被引量：243H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
- 吴濯才
- 作品数：2被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：压电陶瓷驱动器 分步重复投影光刻机 光刻机 刻线 微米
- 刘业异
- 作品数：54被引量：74H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
- 林大键
- 作品数：37被引量：158H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：衍射光学元件 光刻 I 光学系统 表面形貌
- 黄泽永
- 作品数：4被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：火焰切割机 微机 切割机 数字控制 系统主控
