-
姚汉民
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:中国科学院知识创新工程
相关作者
- 陈旭南
- 作品数：175被引量：168H指数：7
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
- 胡松
- 作品数：466被引量：428H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 罗先刚
- 作品数：663被引量：306H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
- 陈献忠
- 作品数：54被引量：40H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：原子束 纳米结构制作 原子光刻 原子 激光驻波场
- 余国彬
- 作品数：75被引量：71H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
