搜索到 篇“ 抛光液 “的相关文章

相关作者

刘玉岭
作品数：481被引量：754H指数：13
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
吕冰海
作品数：396被引量：734H指数：12
供职机构：浙江工业大学
研究主题：抛光 抛光液 磨粒 研磨 研磨盘
张利
作品数：625被引量：508H指数：12
供职机构：浙江工业大学
研究主题：抛光 磨粒 抛光装置 液态金属 人工关节
王辰伟
作品数：119被引量：166H指数：6
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
路新春
作品数：362被引量：356H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光