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张伟

作品数：4 被引量：29H指数：3
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇宏
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
温诗铸
供职机构：清华大学
研究主题：润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱林茂
供职机构：西南交通大学
研究主题：单晶硅 原子力显微镜 探针 选择性刻蚀 扫描探针显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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