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王欣
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京大学微电子学研究院
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相关领域:
机械工程
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合作作者
宋飞
北京大学微电子学研究院
王奕松
北京大学微电子学研究院
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宋飞
供职机构:北京大学微电子学研究院
研究主题:高灵敏度 介质 微机电系统 电容式加速度计
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王奕松
供职机构:北京大学
研究主题:高灵敏度 介质 微机电系统 电容式加速度计 工艺参数
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