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王欣

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:北京大学微电子学研究院更多>>
相关领域:机械工程更多>>

领域

  • 2个机械工程
  • 1个电子电信

主题

  • 2个电容式
  • 2个电容式加速度...
  • 2个微机电系统
  • 2个灵敏度
  • 2个敏度
  • 2个介质
  • 2个机电系统
  • 2个加速度
  • 2个加速度计
  • 2个高灵敏
  • 2个高灵敏度
  • 2个电系统
  • 1个响应曲面
  • 1个响应曲面法
  • 1个工艺参
  • 1个工艺参数

机构

  • 2个北京大学

传媒

  • 2个纳米技术与精...

地区

  • 2个北京市
2 条 记 录,以下是 1-2
宋飞
供职机构:北京大学微电子学研究院
研究主题:高灵敏度 介质 微机电系统 电容式加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王奕松
供职机构:北京大学
研究主题:高灵敏度 介质 微机电系统 电容式加速度计 工艺参数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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