您的位置： 专家智库 > >

鲁森

作品数：27 被引量：40H指数：4
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 8个机械工程
  • 8个电子电信
  • 8个自动化与计算...
  • 8个文化科学
  • 8个理学
  • 7个经济管理
  • 6个电气工程
  • 5个金属学及工艺
  • 4个矿业工程
  • 4个一般工业技术
  • 3个化学工程
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个环境科学与工...
  • 3个自然科学总论
  • 2个交通运输工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学
  • 1个生物学
  • 1个天文地球

主题

  • 8个电机
  • 8个电路
  • 6个单胞
  • 6个电光
  • 6个电光相位调制...
  • 5个大行程
  • 5个单自由度
  • 5个递归
  • 5个递归最小二乘
  • 5个递归最小二乘...
  • 5个电动机
  • 4个单模
  • 4个单模光纤
  • 4个单模式
  • 4个单频
  • 4个单频激光器
  • 4个弹射
  • 4个导轨
  • 4个导体
  • 4个底座

机构

  • 8个清华大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个北京机床研究...
  • 1个北京卫星环境...

资助

  • 8个国家自然科学...
  • 7个北京市自然科...
  • 6个国家科技重大...
  • 5个国家高技术研...
  • 5个国家重点基础...
  • 5个中国博士后科...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个国家部委资助...
  • 2个光电技术及系...
  • 2个国家教育部博...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个湖北省自然科...
  • 1个教育部“优秀...
  • 1个内蒙古自治区...
  • 1个清华大学基础...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个面向21世纪...
  • 1个上海市科委重...
  • 1个中国航空科学...
  • 1个中国科学院战...

传媒

  • 8个清华大学学报...
  • 6个机械工程学报
  • 5个光子学报
  • 5个中国电机工程...
  • 5个系统仿真学报
  • 4个光学精密工程
  • 4个压力容器
  • 4个机械强度
  • 4个光学学报
  • 4个电工技术学报
  • 3个电机与控制学...
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个制造技术与机...
  • 3个机床与液压
  • 3个微电机
  • 3个激光技术
  • 3个北京理工大学...
  • 2个计算机集成制...
  • 2个宇航学报
  • 2个江苏农业科学

地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成荣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构：清华大学
研究主题：磁悬浮轴承 自动控制领域 轴系 频率分辨率 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊杰
供职机构：清华大学
研究主题：外差 位移测量系统 激光干涉 光刻系统 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡楚雄
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 光刻机 激光干涉 测量系统 大行程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0