2025年1月28日
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梁艳
作品数:
2
被引量:16
H指数:2
供职机构:
河北化工医药职业技术学院
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
胡轶
河北工业大学信息工程学院
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院
刘效岩
河北工业大学信息工程学院
赵东磊
河北工业大学信息工程学院
赵之雯
河北工业大学信息工程学院
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刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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胡轶
供职机构:新疆师范大学化学化工学院
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 碱性抛光液 抛光速率
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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供职机构
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李晖
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 速率 去除速率 超纯水 机械抛光
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刘海晓
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 去除速率 速率 化学机械平坦化
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赵东磊
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:PH值 碱性 化学机械抛光 纳米SIO 溶胶
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赵之雯
供职机构:天津职业技术师范大学
研究主题:蓝宝石 化学机械抛光 蓝宝石衬底 纳米硅溶胶 微晶硅薄膜
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