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尹康达

作品数:4 被引量:25H指数:3
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项国家科技重大专项更多>>
相关领域:电子电信更多>>

领域

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主题

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  • 7个碱性
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  • 3个低K介质材料
  • 3个电化学
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  • 3个电位差

机构

  • 9个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
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资助

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  • 7个国家科技重大...
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传媒

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  • 1个教育与职业
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地区

  • 8个天津市
  • 1个河北省
9 条 记 录,以下是 1-9
王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑伟艳
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
岳红维
供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所
研究主题:化学机械平坦化 CMP 铜布线 铜 测试仪器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏文浩
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:碱性 抛光液 选择性 阻挡层 碟形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
串利伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械平坦化 铜布线 CMP 碱性 速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李湘
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:氧化剂 碱性抛光液 稳定性 双氧水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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