2025年2月8日
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张浩然
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
大连理工大学机械工程学院
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
王紫光
大连理工大学机械工程学院
韩晓龙
大连理工大学机械工程学院
金洙吉
大连理工大学机械工程学院
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王紫光
供职机构:大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题:亚表面 硅片 材料去除机理 表面粗糙度 单晶硅
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金洙吉
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光 超精密加工 抛光液 金刚石
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韩晓龙
供职机构:大连理工大学机械工程学院
研究主题:平面度 超薄 光学零件 胶粘 胶结
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