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都琪

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供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
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吴晓松
供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题：PECVD 氮化硅薄膜 PECVD法 工艺参数 正交试验
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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