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潘章杰

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 2个化学工程
  • 2个理学
  • 1个机械工程

主题

  • 3个电阻率
  • 3个研磨
  • 3个碳化硅
  • 3个碳化硅衬底
  • 3个抛光
  • 3个精密加工技术
  • 3个均匀性
  • 3个化学机械抛光
  • 3个机械抛光
  • 2个单晶
  • 2个氮化镓
  • 2个电阻率变化
  • 2个多线切割机
  • 2个载流子
  • 2个载流子浓度
  • 2个质谱
  • 2个扫描电镜
  • 2个碳化硅单晶
  • 2个图像化
  • 2个晶片

机构

  • 3个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中华人民共和...

传媒

  • 3个电子工业专用...
  • 2个半导体技术
  • 2个现代仪器
  • 2个兵器材料科学...
  • 1个硅酸盐通报
  • 1个硅酸盐学报
  • 1个光散射学报
  • 1个人工晶体学报
  • 1个固体电子学研...
  • 1个微电子学
  • 1个微纳电子技术
  • 1个材料科学与工...
  • 1个中国电子科学...
  • 1个第十一届全国...

地区

  • 3个天津市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
王磊
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：SIC 粗糙度 表面粗糙度 CMP SI
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冯玢
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：SIC 碳化硅 碳化硅单晶 半绝缘 电阻率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郝建民
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：碳化硅 SIC 籽晶 PVT V
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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