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陈文杰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学微电子学研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 1个自动化与计算...
  • 1个文化科学

主题

  • 2个硼扩散
  • 2个浅结
  • 2个晶化
  • 2个激光
  • 2个激光退火
  • 2个非晶
  • 2个非晶化
  • 2个碳
  • 2个超浅结
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化硅薄膜
  • 1个氮离子注入
  • 1个电路
  • 1个电容
  • 1个电学
  • 1个电学特性
  • 1个电子束光刻
  • 1个淀积
  • 1个多晶

机构

  • 2个北京大学

资助

  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个国家自然科学...

传媒

  • 2个半导体技术
  • 1个Journa...
  • 1个电子学报
  • 1个固体电子学研...
  • 1个第十二届全国...
  • 1个第十一届全国...

地区

  • 2个北京市
共 2 条 记 录，以下是 1-2
刘兴龙
供职机构：北京大学微电子学研究院
研究主题：超浅结 碳 非晶化 激光退火 硼扩散
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许晓燕
供职机构：北京大学
研究主题：超大规模集成电路 多晶硅 淀积 SIO 线条
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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