2024年8月27日
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周峰
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1
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供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
邓艳红
苏州大学物理科学与技术学院能源...
刘卉敏
苏州大学物理科学与技术学院能源...
叶超
苏州大学物理科学与技术学院能源...
崔进
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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邓艳红
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:等离子体刻蚀 CHF O
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
刘卉敏
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:等离子体刻蚀 O CHF 等离子体
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相关人物
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叶超
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
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相关人物
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所获资助
研究领域
崔进
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:等离子体刻蚀 表面粗糙度 CHF 沟道 刻蚀
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相关人物
供职机构
所获资助
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