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林青
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1
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H指数:1
供职机构:
汉城大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
封松林
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘奇斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
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刘奇斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 湿法刻蚀 相变材料 相变存储器 电子束曝光
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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所获资助
研究领域
封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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