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潘春晖

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:西北工业大学更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 1个微细加工技术

地区

  • 4个陕西省
5 条 记 录,以下是 1-5
练彬
供职机构:西北工业大学深圳研究院
研究主题:扫描镜 谐振频率 静电驱动 光学器件 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾琪
供职机构:西北工业大学
研究主题:非线性动力学 静电驱动 转角 扫描镜 以太网
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨璇
供职机构:西北工业大学
研究主题:沟道 刻蚀 静电驱动 扫描镜 氧化层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏长锋
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 MEMS 测量系统 性能参数 耗能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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