2025年2月13日
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孙业超
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
王英辉
中国科学院微电子研究所
尚海平
中国科学院微电子研究所
王玮冰
中国科学院微电子研究所
李佳
中国科学院微电子研究所
何青
中国科学院微电子研究所
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尚海平
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压力传感器 衬底 压阻 非制冷红外成像 平面阵列
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王英辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
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侯影
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 二极管 读出电路 微弱信号
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李佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自测试 压阻传感器 自校准 压阻 发热电阻
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何青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:失调电压 斩波器 斩波 模数转换电路 读出电路
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