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蒋珂玮
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华东师范大学
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张健
华东师范大学信息科学技术学院电...
万丽娟
华东师范大学信息科学技术学院电...
刘伟景
华东师范大学信息科学技术学院电...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
程融
中国科学院上海微系统与信息技术...
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张健
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅纳米线 湿度传感器 外电极 杀菌 等离子
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刘伟景
供职机构:华东师范大学
研究主题:纳米氧化锌 操控 相对湿度 传感器 石英晶体微天平
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万丽娟
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅纳米线 纳米线阵列 操控 集成电路工艺 电化学刻蚀
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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程融
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子产业 半导体器件 焊料 接触面积
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李俊君
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微流控芯片 微管道 蛋白质结晶 传感 车辆防盗
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龚文莉
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅纳米线 图形化 选择性刻蚀 硅片表面 机电器件
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李辉麟
供职机构:华东师范大学
研究主题:硅纳米线 集成电路工艺 纳米线阵列 快速热退火 电化学刻蚀
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陶伯睿
供职机构:华东师范大学
研究主题:选择性刻蚀 硅片表面 硅纳米线 机电器件 纳米线阵列
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汪飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 悬臂梁 芯片测试 接触电阻 微机械
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