2024年8月27日
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洪培真
作品数:
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中国科学院微电子研究所
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国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
殷华湘
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
李俊峰
中国科学院微电子研究所
李春龙
中国科学院微电子研究所
秦长亮
中国科学院微电子研究所
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
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秦长亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 栅极 沟道 鳍片 侧墙
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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霍宗亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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尹海洲
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 鳍片 栅极
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靳磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:铁电存储器 铁电 叠层 介质层 NAND型
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孟令款
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 半导体器件 粗糙度 电子束光刻
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