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钱晓霞

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：南京工程学院工业中心更多>>
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李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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