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徐静浩
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27
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H指数:5
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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国家自然科学基金
国家科技重大专项
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合作作者
王向朝
中国科学院研究生院
步扬
中国科学院上海光学精密机械研究...
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
郭福东
中国科学院上海光学精密机械研究...
范李立
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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步扬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
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唐锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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郭福东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
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王少卿
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 衍射 波带片 焦深 自聚焦
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范李立
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学元件 压簧 拉簧 轮转 启停
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卢云君
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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袁春晓
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:色差 衍射光栅 光谱仪 单模光纤 频域
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徐文东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:物镜 模块化 原子力显微镜 光学显微镜 光点
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冯鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
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