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张育胜

作品数:6 被引量:6H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:中国科学院微电子研究所所长基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

  • 5个北京市
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张永利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 硅片 辉光放电 辉光 金属电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周宗义
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底温度 反应离子刻蚀 硅片 辉光放电 辉光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王佳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子技术 微电子 启辉 真空室 衬底温度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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