您的位置: 专家智库 > >

李晖

作品数:6 被引量:13H指数:3
供职机构:河北工业大学更多>>
发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项天津市自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

领域

  • 10个电子电信
  • 9个金属学及工艺
  • 9个一般工业技术
  • 8个化学工程
  • 6个理学
  • 5个电气工程
  • 5个自动化与计算...
  • 5个文化科学
  • 4个环境科学与工...
  • 3个哲学宗教
  • 3个交通运输工程
  • 2个经济管理
  • 2个石油与天然气...
  • 2个建筑科学
  • 2个医药卫生
  • 2个自然科学总论
  • 1个生物学
  • 1个矿业工程
  • 1个冶金工程
  • 1个机械工程

主题

  • 10个平坦化
  • 10个磨料
  • 10个化学机械抛光
  • 10个化学机械平坦...
  • 10个机械抛光
  • 9个溶胶
  • 9个互连
  • 8个电路
  • 6个单晶
  • 6个低K材料
  • 6个低K介质
  • 6个低压
  • 6个电化学
  • 6个电偶
  • 6个电偶腐蚀
  • 5个电器件
  • 5个碟形
  • 4个单晶片
  • 4个氮化
  • 4个电极

机构

  • 9个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津大学
  • 1个新疆师范大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个河北化工医药...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个北京七星华创...

资助

  • 10个国家中长期科...
  • 9个国家科技重大...
  • 8个国家自然科学...
  • 8个天津市自然科...
  • 8个河北省自然科...
  • 6个河北省教育厅...
  • 5个国家教育部博...
  • 5个天津市重大科...
  • 3个河北省高等学...
  • 3个河北省教育厅...
  • 3个河北省科技计...
  • 3个天津市重点学...
  • 3个天津市科技攻...
  • 2个新疆维吾尔自...
  • 2个博士后科研启...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个教育部重点实...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个天津市科技计...

传媒

  • 9个半导体技术
  • 8个微纳电子技术
  • 7个功能材料
  • 6个稀有金属材料...
  • 6个河北工业大学...
  • 6个微电子学
  • 5个天津科技
  • 5个微细加工技术
  • 5个第十四届全国...
  • 4个Journa...
  • 4个电子工艺技术
  • 4个电镀与涂饰
  • 4个稀有金属
  • 4个人工晶体学报
  • 4个电子器件
  • 4个纳米技术与精...
  • 4个电子设计工程
  • 4个第十三届全国...
  • 3个河北科技大学...
  • 3个课程教育研究

地区

  • 7个天津市
  • 1个北京市
  • 1个新疆
  • 1个河北省
10 条 记 录,以下是 1-10
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘海晓
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 去除速率 速率 化学机械平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡轶
供职机构:新疆师范大学化学化工学院
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 碱性抛光液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁艳
供职机构:河北化工医药职业技术学院
研究主题:PH值 碱性 化学机械抛光 纳米SIO 溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0