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闫桂珍
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被引量:113
H指数:7
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北京大学
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国家自然科学基金
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合作作者
杨振川
北京大学微电子学研究院
郝一龙
北京大学微电子学研究院
赵前程
北京大学
郭中洋
北京大学信息科学技术学院微米纳...
崔健
北京大学信息科学技术学院微米纳...
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杨振川
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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赵前程
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 陀螺 水平轴 检测电极 微机械
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郭中洋
供职机构:北京大学
研究主题:微机械 锚点 微机械陀螺 锁存 水平轴
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崔健
供职机构:北京大学
研究主题:陀螺 锚点 微机械陀螺 水平轴 检测电极
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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刘雪松
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 水平轴 陀螺 电容式 音叉
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丁海涛
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 水平轴 音叉 电容式 电容
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 悬臂梁 各向异性刻蚀 英文 聚焦离子束
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陈庆华
供职机构:北京大学
研究主题:微光 玻璃衬底 光反射 光开关 悬臂梁
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