2025年3月26日
星期三
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刘卫静
作品数:
19
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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理学
机械工程
电子电信
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合作作者
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
林妩媚
中国科学院光电技术研究所
李斌成
中国科学院光电技术研究所
廖志杰
中国科学院光电技术研究所
韩艳玲
中国科学院光电技术研究所
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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所获资助
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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李斌成
供职机构:电子科技大学
研究主题:光学元件 光腔衰荡 反射率 光学谐振腔 高反射率
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廖志杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
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曲哲超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学谐振腔 测量方法 激光器 光学元件 反射率
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韩艳玲
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学谐振腔 反射率 光腔 激光器 光腔衰荡
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何毅
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
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高卫东
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学元件 物理性质 物理参数 最佳温度 损耗测量
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王艳茹
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学元件 物理性质 物理参数 最佳温度 损耗测量
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