2025年4月3日
星期四
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方亮
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74
被引量:13
H指数:2
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中国科学院光电技术研究所
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国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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合作作者
张辉
中国科学院光电技术研究所
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
王长涛
中国科学院光电技术研究所
刘玲
中国科学院光电技术研究所
程欣
中国科学院光电技术研究所
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张辉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:星敏感器 视场 恒星 选通 质心
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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刘玲
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 超分辨 光刻 湿法腐蚀 衍射
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刘尧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 超分辨 湿法腐蚀 线宽 干法刻蚀
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程欣
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:视场 选通 成像系统 光栅衍射 棱镜
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邢卉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 湿法腐蚀 干法刻蚀 膜层 线宽
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刘凯鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 光刻 超分辨 膜层 湿法腐蚀
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冯沁
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 多层膜 膜层 湿法腐蚀
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所获资助
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刘恩海
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:星敏感器 激光雷达 相机 空间交会对接 位姿
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