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牛迪
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上海交通大学
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国家科技重大专项
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机械工程
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合作作者
孙云娜
上海交通大学
丁桂甫
上海交通大学
王艳
上海交通大学
王博
上海交通大学
罗江波
上海交通大学
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孙云娜
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 工质 子层 高深宽比
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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王艳
供职机构:上海交通大学
研究主题:金属 散热器 宗白华 惯性开关 工质
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罗江波
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 子层 复合介质 高深宽比
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王博
供职机构:上海交通大学
研究主题:粒子群算法 微加工工艺 电泳 气体渗氮 图形化
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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王艳
供职机构:上海交通大学医学院
研究主题:磁力研磨 化学品 偿付能力 金刚石砂轮 MEMS
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段力
供职机构:上海交通大学
研究主题:高温 高温测量 热障涂层 MEMS 叶片
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