2024年8月23日
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赵佩云
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
杨中山
中国科学院光电技术研究所
刘业异
中国科学院光电技术研究所
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杨中山
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 光纤 传感器 信号检测 电流
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研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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供职机构
所获资助
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刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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