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赵佩云

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
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杨中山
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 光纤 传感器 信号检测 电流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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