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刘建云
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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文化科学
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
徐勤志
中国科学院微电子研究所
曹鹤
中国科学院微电子研究所
孙艳
中国科学院微电子研究所
张贺
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
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徐勤志
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 晶圆
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曹鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 冗余 金属 化学机械研磨
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所获资助
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张贺
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 CMP 网格 冗余 仿真方法
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孙艳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:网格 金属 冗余 CMP 仿真方法
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杨飞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 冗余 集成电路版图 互连线 金属
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王海永
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:相位噪声 频率综合器 LC-VCO 噪声性能 压控振荡器
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李志强
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:频率综合器 收发机 本振信号 综合器 功率放大器
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刘宏伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面形貌 仿真方法 形貌 CMP工艺 CMP
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郭叶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:传输调度 测试电路 表面形貌 CMP 研磨液
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